思誠(chéng)資源SCZY 全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x
品牌：SCZY(思誠(chéng)資源)
型號(hào)：G652F4F16E9F0C
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Quick Vision Pro系列 Quick Vision系列
規(guī)格集
QV APEX Pro
| 名稱 | QV APEX 302 Pro | QV APEX 404 Pro | QV APEX 606 Pro | |||||||||||
| 貨號(hào) | 363-601 | 363-603 | 363-602 | 363-604 | 363-611 | 363-613 | 363-612 | 363-614 | 363-621 | 363-623 | 363-622 | 363-624 | ||
| 型號(hào) | QV-X302P1L-E | QV-X302T1L-E | QV-X302P1C-E | QV-X302T1C-E | QV-X404P1L-E | QV-X404T1L-E | QV-X404P1C-E | QV-X404T1C-E | QV-X606P1L-E | QV-X606T1L-E | QV-X606P1C-E | QV-X606T1C-E | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | ||||||||||||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 300×200×200 | 400×400×250 | 600×650×250 | |||||||||||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 866×930×1612 | 1118×1426×1776 | 1400×1994×1804 | |||||||||||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 399×271 | 493×551 | 697×758 | |||||||||||
| 主機(jī)質(zhì)量（包括專用設(shè)置臺(tái)）[kg] | 355 | 640 | 1465 | |||||||||||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
影像 | EUX / EUY, MPE | （1.5 ＋ 3L / 1000） | |||||||||||
| EUXY, MPE | （2.0 ＋ 4L / 1000） | |||||||||||||
| EUZ, MPE | （1.5 ＋ 4L / 1000） | |||||||||||||
| STREAM※2 （選件） |
E1X, E1Y | （1.5 ＋ 3L / 1000） | ||||||||||||
| E2XY | （2.0 ＋ 4L / 1000） | |||||||||||||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 2.5倍物鏡（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋ 中倍鏡筒透鏡 | |||||||||||||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.1 | |||||||||||||
| 激光自動(dòng)對(duì)焦重復(fù)精度 [μm]※3 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | ||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 20±2 ℃ | ||||||||||||
| 溫度變化 | 2 ℃ / 8H | |||||||||||||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※4 | 20 | 40 | 50 | |||||||||||
| 影像裝置 | B&W CMOS數(shù)碼相機(jī) | |||||||||||||
| 照明裝置 | 透射照明 | 白色LED | ||||||||||||
| 垂直反射照明 | 白色LED | 彩色LED | 白色LED | 彩色LED | 白色LED | 彩色LED | ||||||||
| 程控環(huán)形照明 | 白色LED | 彩色LED | 白色LED | 彩色LED | 白色LED | 彩色LED | ||||||||
| 觀察裝置※5 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | |||||||||||||
| 跟蹤自動(dòng)對(duì)焦裝置 | - | √ | - | √ | - | √ | - | √ | - | √ | - | √ | ||
| 溫度補(bǔ)償功能 | 手動(dòng)溫度補(bǔ)償 | |||||||||||||
| 觸發(fā)式測(cè)頭（可選） | 可追加雷尼紹TP200或TP20觸發(fā)式測(cè)頭，詳細(xì)請(qǐng)咨詢?nèi)S營(yíng)業(yè)部 | |||||||||||||
| TP測(cè)量精度 ※2 | E1X,E1Y,E1Z | （1.8+3L/1000）μm | ||||||||||||
※1 L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm）
※2 按照本公司檢查方法。
※3 符合測(cè)量工件： 校準(zhǔn)片表面鍍鉻、物鏡： QV-HR2.5X、跟蹤速度： 10 mm/sec、跟蹤范圍： 2 mm條件時(shí)。
※4 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外。
※5 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
QV HYPER Pro
| 名稱 | QV HYPER 302 Pro | QV HYPER 404 Pro | QV HYPER 606 Pro | |||||||||||
| 貨號(hào) | 363-605 | 363-607 | 363-606 | 363-608 | 363-615 | 363-617 | 363-616 | 363-618 | 363-625 | 363-627 | 363-626 | 363-628 | ||
| 型號(hào) | QV-H302P1L-E | QV-H302T1L-E | QV-H302P1C-E | QV-H302P1C-E | QV-H404P1L-E | QV-H404T1L-E | QV-H404P1C-E | QV-H404T1C-E | QV-H606P1L-E | QV-H606T1L-E | QV-H606P1C-E | QV-H606T1C-E | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | ||||||||||||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 300×200×200 | 400×400×250 | 600×650×250 | |||||||||||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 866×930×1612 | 1118×1426×1776 | 1400×1994×1804 | |||||||||||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 399×271 | 493×551 | 697×758 | |||||||||||
| 主機(jī)質(zhì)量（包括專用設(shè)置臺(tái)）[kg] | 355 | 640 | 1465 | |||||||||||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
影像 | EUX / EUY, MPE | （0.8 ＋ 2L / 1000） | |||||||||||
| EUXY, MPE | （1.4 ＋ 3L / 1000） | |||||||||||||
| EUZ, MPE | （1.5 ＋ 2L / 1000） | |||||||||||||
| STREAM※2 （選件） |
E1X, E1Y | （1.5 ＋ 3L / 1000） | ||||||||||||
| E2XY | （2.0 ＋ 4L / 1000） | |||||||||||||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 2.5倍物鏡（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋ 中倍鏡筒透鏡 | |||||||||||||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.02 | |||||||||||||
| 激光自動(dòng)對(duì)焦重復(fù)精度 [μm]※3 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | - | σ≤0.8 | ||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 20±2 ℃ | ||||||||||||
| 溫度變化 | 0.5 ℃ / 1H 和 1 ℃ / 24H | |||||||||||||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※4 | 15 | 30 | 40 | |||||||||||
| 影像裝置 | B&W CMOS數(shù)碼相機(jī) | |||||||||||||
| 照明裝置 | 透射照明 | 白色LED | ||||||||||||
| 垂直反射照明 | 白色LED | 彩色LED | 白色LED | 彩色LED | 白色LED | 彩色LED | ||||||||
| 程控環(huán)形照明 | 白色LED | 彩色LED | 白色LED | 彩色LED | 白色LED | 彩色LED | ||||||||
| 觀察裝置※5 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | |||||||||||||
| 跟蹤自動(dòng)對(duì)焦裝置 | - | √ | - | √ | - | √ | - | √ | - | √ | - | √ | ||
| 溫度補(bǔ)償功能 | 自動(dòng)溫度補(bǔ)償 | |||||||||||||
| 觸發(fā)式測(cè)頭（可選） | 可追加雷尼紹TP200或TP20觸發(fā)式測(cè)頭，詳細(xì)請(qǐng)咨詢?nèi)S營(yíng)業(yè)部 | |||||||||||||
| TP測(cè)量精度 ※2 | E1X,E1Y,E1Z | （1.7+3L/1000）μm | ||||||||||||
※1 L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm）
※2 按照本公司檢查方法。
※3 符合測(cè)量工件： 校準(zhǔn)片表面鍍鉻、物鏡： QV-HR2.5X、跟蹤速度： 10 mm/sec、跟蹤范圍： 2 mm條件時(shí)。
※4 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外。
※5 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
QVH4 APEX Pro
| 名稱 | QVH4 APEX 302 Pro | QVH4 APEX 404 Pro | QVH4 APEX 606 Pro | ||
| 貨號(hào) | 365-601 | 365-611 | 365-621 | ||
| 型號(hào) | QVH4A-X302P1L-E | QVH4A-X404P1L-E | QVH4A-X606P1L-E | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | |||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 影像 | 300×200×200 | 400×400×250 | 600×650×250 | |
| 影像、 非接觸式位移傳感器通用 | 176×200×200 | 276×400×250 | 476×650×250 | ||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 476×650×250 | 1118×1426×1776 | 1400×1994×1804 | ||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 399×271 | 493×551 | 697×758 | ||
| 主機(jī)質(zhì)量（包括專用設(shè)置臺(tái)）[kg] | 365 | 650 | 1475 | ||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
影像 | EUX / EUY, MPE | （1.5 ＋ 3L / 1000） | ||
| EUXY, MPE | （2.0 ＋ 4L / 1000） | ||||
| EUZ, MPE | （1.5 ＋ 4L / 1000） | ||||
| STREAM※2 （選件） |
E1X, E1Y | （1.5 ＋ 3L / 1000） | |||
| E2XY | （2.0 ＋ 4L / 1000） | ||||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 2.5倍物鏡（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋ 中倍鏡筒透鏡 | ||||
| 非接觸式位移傳感器測(cè)量精度 [μm]※2 | E1Z | （1.5 ＋ 4L / 1000） | |||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.1 | ||||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 20±2 ℃ | |||
| 溫度變化 | 2 ℃ / 8H | ||||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※4 | 20 | 40 | 50 | ||
| 影像裝置 | B&W CMOS數(shù)碼相機(jī) | ||||
| 照明裝置 | 透射照明 | 白色LED | |||
| 垂直反射照明 | 白色LED | ||||
| 程控環(huán)形照明 | 白色LED | ||||
| 觀察裝置※5 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | ||||
| 氣源使用條件 | 使用氣源壓力 | 0.2 MPa※3 | |||
| 溫度補(bǔ)償功能 | 手動(dòng)溫度補(bǔ)償 | ||||
※1 L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm）※2 按照本公司檢查方法?！? 氣源壓力須為0.3～0.9 MPa。
※4 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外?！? 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
須知： 本機(jī)中已裝入本體啟動(dòng)系統(tǒng)（移設(shè)檢測(cè)系統(tǒng)），用于在受到意外震動(dòng)時(shí)或進(jìn)行了移動(dòng)時(shí)終止本機(jī)的操作。在購(gòu)買(mǎi)后要移動(dòng)本機(jī)時(shí)，煩請(qǐng)?jiān)谝苿?dòng)本機(jī)前
QVH4 HYPER Pro
| 名稱 | QVH4 HYPER 302 Pro | QVH4 HYPER 404 Pro | QVH4 HYPER 606 Pro | ||
| 貨號(hào) | 365-605 | 365-615 | 365-625 | ||
| 型號(hào) | QVH4A-H302P1L-E | QVH4A-H404P1L-E | QVH4A-H606P1L-E | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | |||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 影像 | 866×930×1612 | 400×400×250 | 600×650×250 | |
| 影像、 非接觸式位移傳感器通用 | 176×200×200 | 276×400×250 | 476×650×250 | ||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 866×930×1612 | 1118×1426×1776 | 1400×1994×1804 | ||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 399×271 | 493×551 | 697×758 | ||
| 主機(jī)質(zhì)量（包括專用設(shè)置臺(tái)）[kg] | 365 | 650 | 1475 | ||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
影像 | EUX / EUY, MPE | （0.8 ＋ 2L / 1000） | ||
| EUXY, MPE | （1.4 ＋ 3L / 1000） | ||||
| EUZ, MPE | （1.5 ＋ 2L / 1000） | ||||
| STREAM※2 （選件） |
E1X, E1Y | （1.5 ＋ 3L / 1000） | |||
| E2XY | （2.0 ＋ 4L / 1000） | ||||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 2.5倍物鏡（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋ 中倍鏡筒透鏡 | ||||
| 非接觸式位移傳感器測(cè)量精度 [μm]※2 | E1Z | （1.5 ＋ 2L / 1000） | |||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.02 | ||||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 20±2 ℃ | |||
| 溫度變化 | 0.5 ℃ / 1H 和 1 ℃ / 24H | ||||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※4 | 15 | 30 | 40 | ||
| 影像裝置 | B&W CMOS數(shù)碼相機(jī) | ||||
| 照明裝置 | 透射照明 | 白色LED | |||
| 垂直反射照明 | 白色LED | ||||
| 程控環(huán)形照明 | 白色LED | ||||
| 觀察裝置※5 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | ||||
| 氣源使用條件 | 使用氣源壓力 | 0.2 MPa※3 | |||
| 溫度補(bǔ)償功能 | 自動(dòng)溫度補(bǔ)償 | ||||
※1 L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm）※2 按照本公司檢查方法?！? 氣源壓力須為0.3～0.9 MPa。
※4 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外。※5 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
須知： 本機(jī)中已裝入本體啟動(dòng)系統(tǒng)（移設(shè)檢測(cè)系統(tǒng)），用于在受到意外震動(dòng)時(shí)或進(jìn)行了移動(dòng)時(shí)終止本機(jī)的操作。在購(gòu)買(mǎi)后要移動(dòng)本機(jī)時(shí)，煩請(qǐng)?jiān)谝苿?dòng)本機(jī)前
QV HYBRID TYPE1 APEX
| 名稱 | QVH1 Apex 302 | QVH1 Apex 404 | QVH1 Apex 606 | ||
| 貨號(hào) | 365-170-20 | 365-180-20 | 365-190-20 | ||
| 型號(hào) | QVH1-X302P1L-D | QVH1-X404P1L-D | QVH1-X606P1L-D | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | |||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 300×200×200 | 400×400×250 | 600×650×250 | ||
| 非接觸式位移傳感器測(cè)量范圍 （X×Y×Z）[mm] |
180×200×200 | 280×400×250 | 480×650×250 | ||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 859×951×1609 | 1027×1407×1778 | 1309×1985×1794 | ||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 399×271 | 493×551 | 697×758 | ||
| 主機(jī)質(zhì)量（包括專用設(shè)置臺(tái)）[kg] | 370 | 589 | 1460 | ||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
E1X, E1Y※1 | （1.5 ＋ 3L / 1000） | |||
| E1Z※1 | （1.5 ＋ 4L / 1000） | ||||
| E2XY※1 | （2.0 ＋ 4L / 1000） | ||||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 2.5倍物鏡（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋ 中倍鏡筒透鏡 | ||||
| 非接觸式位移傳感器測(cè)量精度 [μm]※2 | E1Z | （1.5 ＋ 4L / 1000） | |||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.1 | ||||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 20 ± 1 ℃ | |||
| 溫度變化 | 2 ℃ / 8H | ||||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※4 | 20 | 40 | 50 | ||
| 影像裝置 | B&W CCD | ||||
| 照明裝置 | 透射照明 | 白色LED | |||
| 垂直反射照明 | 白色LED | ||||
| 程控環(huán)形照明 | 白色LED | ||||
| 觀察裝置※5 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | ||||
| 氣源使用條件 | 使用氣源壓力 | 0.2 MPa※3 | |||
| 溫度補(bǔ)償功能 | - | ||||
※1 按照本公司檢查方法。L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm） ※2 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外?！? 氣源壓力須為0.3～0.9 MPa。
※4 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
※訂購(gòu)支持ISO10360-7:2011精度保證的機(jī)型時(shí)，請(qǐng)?jiān)谪浱?hào)的末尾加S。
須知： 本機(jī)中已裝入本體啟動(dòng)系統(tǒng)（移設(shè)檢測(cè)系統(tǒng)），用于在受到意外震動(dòng)時(shí)或進(jìn)行了移動(dòng)時(shí)終止本機(jī)的操作。在購(gòu)買(mǎi)后要移動(dòng)本機(jī)時(shí)，煩請(qǐng)?jiān)谝苿?dòng)本機(jī)前
HYPER QV HYBRID TYPE1
| 名稱 | Hyper QVH1 302 | Hyper QVH1 404 | Hyper QVH1 606 | ||
| 貨號(hào) | 365-173-20 | 365-183-20 | 365-193-20 | ||
| 型號(hào) | QVH1-H302P1L-D | QVH1-H404P1L-D | QVH1-H606P1L-D | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | |||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 300×200×200 | 400×400×250 | 600×650×250 | ||
| 非接觸式位移傳感器測(cè)量范圍 （X×Y×Z）[mm] |
180×200×200 | 280×400×250 | 480×650×250 | ||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 859×951×1609 | 1027×1407×1778 | 1309×1985×1794 | ||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 399×271 | 493×551 | 697×758 | ||
| 主機(jī)質(zhì)量（包括專用設(shè)置臺(tái)）[kg] | 370 | 589 | 1460 | ||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
E1X, E1Y※1 | （0.8 ＋ 2L / 1000） | |||
| E1Z※1 | （1.5 ＋ 2L / 1000） | ||||
| E2XY※1 | （1.4 ＋ 3L / 1000） | ||||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 2.5倍物鏡（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋ 中倍鏡筒透鏡 | ||||
| 非接觸式位移傳感器測(cè)量精度 [μm]※2 | E1Z | （1.5 ＋ 2L / 1000） | |||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.02 | ||||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 18～23 ℃ | |||
| 溫度變化 | 0.5 ℃ / 1H 和 1 ℃ / 24H | ||||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※4 | 15 | 30 | 40 | ||
| 影像裝置 | B&W CCD | ||||
| 照明裝置 | 透射照明 | 白色LED | |||
| 垂直反射照明 | 白色LED | ||||
| 程控環(huán)形照明 | 白色LED | ||||
| 觀察裝置※5 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | ||||
| 氣源使用條件 | 使用氣源壓力 | 0.2 MPa※3 | |||
| 溫度補(bǔ)償功能 | 自動(dòng)溫度補(bǔ)償 | ||||
※1 按照本公司檢查方法。L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm） ※2 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外?！? 氣源壓力須為0.3～0.9 MPa。
※4 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
※訂購(gòu)支持ISO10360-7:2011精度保證的機(jī)型時(shí)，請(qǐng)?jiān)谪浱?hào)的末尾加S。
須知： 本機(jī)中已裝入本體啟動(dòng)系統(tǒng)（移設(shè)檢測(cè)系統(tǒng)），用于在受到意外震動(dòng)時(shí)或進(jìn)行了移動(dòng)時(shí)終止本機(jī)的操作。在購(gòu)買(mǎi)后要移動(dòng)本機(jī)時(shí)，煩請(qǐng)?jiān)谝苿?dòng)本機(jī)前
HYPER QV WLI
| 名稱 | Hyper QVH1 302 | Hyper QVH1 404 | Hyper QVH1 606 | ||
| 貨號(hào) | 365-173-20 | 365-183-20 | 365-193-20 | ||
| 型號(hào) | QVH1-H302P1L-D | QVH1-H404P1L-D | QVH1-H606P1L-D | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | |||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 300×200×200 | 400×400×250 | 600×650×250 | ||
| 非接觸式位移傳感器測(cè)量范圍 （X×Y×Z）[mm] |
180×200×200 | 280×400×250 | 480×650×250 | ||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 859×951×1609 | 1027×1407×1778 | 1309×1985×1794 | ||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 399×271 | 493×551 | 697×758 | ||
| 主機(jī)質(zhì)量（包括專用設(shè)置臺(tái)）[kg] | 370 | 589 | 1460 | ||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
E1X, E1Y※1 | （0.8 ＋ 2L / 1000） | |||
| E1Z※1 | （1.5 ＋ 2L / 1000） | ||||
| E2XY※1 | （1.4 ＋ 3L / 1000） | ||||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 2.5倍物鏡（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋ 中倍鏡筒透鏡 | ||||
| 非接觸式位移傳感器測(cè)量精度 [μm]※2 | E1Z | （1.5 ＋ 2L / 1000） | |||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.02 | ||||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 18～23 ℃ | |||
| 溫度變化 | 0.5 ℃ / 1H 和 1 ℃ / 24H | ||||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※4 | 15 | 30 | 40 | ||
| 影像裝置 | B&W CCD | ||||
| 照明裝置 | 透射照明 | 白色LED | |||
| 垂直反射照明 | 白色LED | ||||
| 程控環(huán)形照明 | 白色LED | ||||
| 觀察裝置※5 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | ||||
| 氣源使用條件 | 使用氣源壓力 | 0.2 MPa※3 | |||
| 溫度補(bǔ)償功能 | 自動(dòng)溫度補(bǔ)償 | ||||
※1 按照本公司檢查方法。L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm）
※2 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外。
※3 氣源壓力須為0.45～0.7 MPa。
※4 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
※訂購(gòu)支持ISO10360-7:2011精度保證的機(jī)型時(shí)，請(qǐng)?jiān)谪浱?hào)的末尾加S。
QV ACCEL
| 名稱 | QV ACCEL 808 | QV ACCEL 1010 | ||
| 貨號(hào) | 363-315-10Y | 363-335-10Y | ||
| 型號(hào) | QV-A808P1L-D | QV-A1010P1L-D | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | ||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 800×800×150 | 1000×1000×150 | ||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 1475×1860×1578 | 1912×2116× 1603 | ||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 883×958 | 1186×1186 | ||
| 主機(jī)質(zhì)量 [kg] | 2050 | 2950 | ||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
E1X, E1Y※1 | （1.5 ＋ 3L / 1000） | ||
| E1Z※1 | （1.5 ＋ 4L / 1000） | |||
| E2XY※1 | （2.5 ＋ 4L / 1000） | |||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 2.5倍物鏡（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋ 低倍鏡筒透鏡 | |||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.1 | |||
| 重復(fù)精度 [μm]※2 | 短尺寸 XY軸 | 3σ = 0.2 | ||
| 長(zhǎng)尺寸 XY軸 | 3σ = 0.7 | |||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 20 ± 1 ℃ | ||
| 溫度變化 | 2 ℃ / 8H | |||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※3 | 10 | 30 | ||
| 影像裝置 | B&W CCD相機(jī)（1/2英寸） | |||
| 照明裝置 | 透射照明 | 白色LED | ||
| 垂直反射照明 | 白色LED | |||
| 程控環(huán)形照明 | 白色LED （4象限） | |||
| 觀察裝置※4 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | |||
※1 按照本公司檢查方法。L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm）
※2 測(cè)量短尺寸在一個(gè)畫(huà)面內(nèi)重復(fù)測(cè)量。長(zhǎng)尺寸在移動(dòng)的同時(shí)重復(fù)。兩者均按照本公司檢查方法。
※3 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外。
※4 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
※訂購(gòu)支持ISO10360-7:2011精度保證的機(jī)型時(shí)，請(qǐng)?jiān)谪浱?hào)的末尾加S。
ULTRA QV
| 名稱 | ULTRA QV 404 | |||
| 貨號(hào) | 363-518-20 | 363-519-20 | ||
| 型號(hào) | QV-U404P1N-D | QV-U404T1N-D | ||
| 主機(jī)部分 尺寸、質(zhì)量 | ||||
| 測(cè)量范圍（X×Y×Z）[mm] | 400×400×200 | |||
| 外觀尺寸（寬×深×高）（包括專用設(shè)置臺(tái)）[mm] | 1190×1735×1910 | |||
| 載物玻璃（寬×深）[mm] | 493×551 | |||
| 主機(jī)質(zhì)量（包括專用設(shè)置臺(tái)）[kg] | 2025 | |||
| 影像測(cè)量精度 [μm]※1 |
E1X, E1Y※1 | （0.25 ＋ L / 1000） | ||
| E1Z（50 ｍｍ行程）※1 | （1.0 ＋ 2L / 1000） | |||
| E1Z（全行程）※1 | （1.5 ＋ 2L / 1000） | |||
| E2XY※1 | （0.5 ＋ 2L / 1000） | |||
| 精度保證光學(xué)倍率 | 5倍物鏡（QV-5X）＋ 中倍鏡筒透鏡 | |||
| 光柵尺分辨力 [μm] | 0.01 | |||
| 激光自動(dòng)對(duì)焦重復(fù)精度 [μm]※2 | - | σ≤0.8 | ||
| 精度保證溫度 | 環(huán)境溫度 | 19～23 ℃ | ||
| 溫度變化 | 0.5 ℃ / 1H 和 1 ℃ / 24H | |||
| 最大工件質(zhì)量 [kg]※3 | 40 | |||
| 影像裝置 | B&W CCD相機(jī)（1/2英寸） | |||
| 照明裝置 | 透射照明 | 鹵素 | ||
| 垂直反射照明 | 鹵素 | |||
| 程控環(huán)形照明 | 鹵素 | |||
| 觀察裝置※4 | 程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔 1X, 2X, 6X系列 | |||
| 跟蹤自動(dòng)對(duì)焦裝置 | - | √ | ||
| 氣源使用條件 | 使用氣源壓力 | 0.4 MPa※5 | ||
| 必要?dú)庠戳髁?/td> | 300 L / min（ANR）※6 | |||
| 溫度補(bǔ)償功能※7 | 自動(dòng)溫度補(bǔ)償 | |||
※1 按照本公司檢查方法。L為任意測(cè)量長(zhǎng)度（單位： mm）
※2 符合測(cè)量工件： 校準(zhǔn)片表面鍍鉻、物鏡： QV-5X、跟蹤速度： 10 mm/sec、跟蹤范圍： 2 mm條件時(shí)。
※3 極端的不平衡負(fù)載、集中負(fù)荷除外。
※4 支持程控電動(dòng)轉(zhuǎn)塔1X-2X-4X機(jī)型及1X-2X-4X-6X機(jī)型可接受特殊定制。
※5 氣源壓力須為0.5～0.9 MPa。
※6 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。
※7 自動(dòng)溫度補(bǔ)償： 在20 ℃以外的溫度環(huán)境下，支持補(bǔ)償與20 ℃之間的溫差所導(dǎo)致的誤差，以標(biāo)準(zhǔn)溫度20 ℃時(shí)的值輸出結(jié)果的功能 （根據(jù)軟件的設(shè)定，標(biāo)準(zhǔn)溫度也可設(shè)定成20 ℃以外的溫度）。
※訂購(gòu)支持ISO10360-7:2011精度保證的機(jī)型時(shí)，請(qǐng)?jiān)谪浱?hào)的末尾加S。
外觀尺寸圖、 測(cè)量工作臺(tái)尺寸
QV302
QV404
QV606
QVWLI 302
QVWLI-404
QVWLI-606
QV ACCEL 808
QV ACCEL 1010
ULTRA QV 404
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