眾所周知，探針組合系統(tǒng)的正確調(diào)整與否會給測量結(jié)果帶來很大的影響。常規(guī)情況下，目前很多客戶都是通過手動調(diào)節(jié)來實(shí)現(xiàn)探針組合系統(tǒng)的調(diào)整，但往往通過目測（肉眼）來判斷角度是否水平或者垂直是不可靠的，始終牢記組裝過程的每一個錯誤可能對您的測量結(jié)果的負(fù)面影響，這樣測量出來的結(jié)果也是不可靠的?，F(xiàn)在我們Zeiss有專業(yè)的調(diào)整裝置來為您排憂解難。FixAssist 可以幫助您調(diào)節(jié)MT/VAST探針組中各個探針的相對位置。您可通過FixAssist 調(diào)整吸盤的旋轉(zhuǎn)角度和側(cè)向探針的角度。

你需要以下工具來實(shí)現(xiàn)探針結(jié)構(gòu)調(diào)整 :
直徑11 和20 毫米的鉤扳手
?11x100毫米規(guī)格的不銹鋼延長桿（以保持和調(diào)整立方體）
1.5-4毫米規(guī)格的六角扳手
2.5毫米規(guī)格，2 Nm 扭矩的內(nèi)六角扳手（用于調(diào)整吸盤螺絲）

探針吸盤調(diào)整

擰松紅色夾緊螺絲，向外推動打開吸盤保持架.

插入吸盤，使槽口和標(biāo)記的圓柱銷對應(yīng)。標(biāo)記位置對應(yīng)于“-X”軸的方向

通過向內(nèi)移動紅色擰緊螺絲緊固吸盤不要將螺絲擰的太緊以免損壞吸盤?，F(xiàn)在吸盤夾在一個固定的抵擋，而且總是可以精確地夾緊在這個位置

調(diào)整繞Z 軸的旋轉(zhuǎn)角

使用扭矩扳手
?擰松吸盤上端的三個擰緊螺絲.
?現(xiàn)在你可以水平旋轉(zhuǎn)整套探針系統(tǒng)

擰松頂端表盤上的黑色螺絲
通過轉(zhuǎn)動表盤調(diào)整繞Z 軸水平旋轉(zhuǎn)方向所需的角度。請務(wù)必檢查探針系統(tǒng)需要旋轉(zhuǎn)的方向。

垂直調(diào)整第二軸表盤上的棱鏡
打開黃色擰緊螺絲用于水平導(dǎo)軌輕微橫滑移動，然后擰緊（黃色螺絲）

測球靠上垂直棱鏡

如果已經(jīng)調(diào)整了第一角度，重新擰緊黑色螺絲，然后輕輕地擰緊吸盤上的三個螺絲，檢查測針是否依然在靠在棱鏡的中心，使用扭矩扳手?jǐn)Q緊吸盤上的三個螺絲

調(diào)整第二個角度

調(diào)整繞Z 軸旋轉(zhuǎn)的角度 固定測針在水平延長桿的末端棱鏡載體插入定心輔助

擰松棱鏡載體的黃色螺絲，然后將其沿導(dǎo)軌進(jìn)行移動

調(diào)整定心輔助到測針的相同高度
?將棱鏡載體往著測針方向仔細(xì)推動，直到測球精確的靠在中心位置
?擰緊垂直導(dǎo)軌的黃色螺絲
?現(xiàn)在棱鏡調(diào)整到正確的高度
?取下定心輔助和測針