一根探針通常由三部分組成：

DG: 底座直徑（mm）

DS: 測(cè)桿直徑（mm）

ML: 有效長(zhǎng)度（mm）

L :  總長(zhǎng)度（mm）

DK: 測(cè)頭直徑（mm）

底座與螺紋

底座是螺紋和測(cè)桿之間的連接部分，蔡司把底座設(shè)計(jì)成能以最佳方式承受測(cè)桿引入的測(cè)力。 根據(jù)所用測(cè)量系統(tǒng)，蔡司使用M2、M3和M5螺紋。

測(cè)桿材質(zhì)

測(cè)桿和截面（硬度高于管材的固體材質(zhì)）的材質(zhì)對(duì)探針的剛性有很大影響。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)探針，蔡司使用碳化物測(cè)桿作為參考對(duì)象。

測(cè)針針頭

最常用測(cè)針的測(cè)頭是球形的。
 

測(cè)針主要特性有：

測(cè)頭精度

測(cè)頭材質(zhì)

測(cè)頭重量

?測(cè)頭球形的精度

與理想球形的偏差通常以“等級(jí)”進(jìn)行標(biāo)注。 下列是常用等級(jí)：

               等級(jí)                                                                                                     最大偏差（μm ）                      

                  3                                                                                                            0,08                                   

                 10                                                                                                           0,25                                   

                 16                                                                                                           0,40                                   

                 20                                                                                                            0,50  

?測(cè)頭球形的精度

與理想球形的偏差通常以“等級(jí)”進(jìn)行標(biāo)注。 下列是常用等級(jí)：

               等級(jí)                                                                                                     最大偏差（μm ）                      

                  3                                                                                                            0,08                                   

                 10                                                                                                           0,25                                   

                 16                                                                                                           0,40                                   

                 20                                                                                                                                                    0,50                                               

蔡司三坐標(biāo)使用等級(jí)5的測(cè)頭作為標(biāo)準(zhǔn)配置，對(duì)于特殊要求，例如極高精度的圓度測(cè)量，也可提供等級(jí)3的測(cè)頭。

 
?測(cè)頭材質(zhì)

下表列出了測(cè)頭最常用的幾種材質(zhì)，包括各自的主要應(yīng)用領(lǐng)域和限制。

材質(zhì)                                                                     應(yīng)用領(lǐng)域                                                                             DK(μm)   

紅寶石                        幾乎是所有應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)。  連續(xù)掃描特定材質(zhì)時(shí)可能會(huì)出現(xiàn)磨損或工件材料吸附。               0,12 - 12      

藍(lán)寶石                        特性與紅寶石一樣，但可以制作直徑更大的測(cè)頭。                                        8 – 15      

氮化硅                        與紅寶石的用法相同，但是掃描鋁件時(shí)工件材料的吸附會(huì)更少。                               1 – 12      

陶瓷（氧化鋁）      用于制作大直徑球形測(cè)頭、盤形測(cè)針以掃描鑄鐵等粗糙表面。更可制作成半球形確保最優(yōu)重量。              8 – 45     

氧化鋯                       與紅寶石相比較，這種材質(zhì)更軟，主要用于手動(dòng)測(cè)量設(shè)備。                                    1 – 10     

碳化鎢                       能夠用于制作特殊尺寸的球形測(cè)頭，例如測(cè)量齒輪齒。 可針對(duì)測(cè)量定制， 重量較大。                  2 – 30     

鋼                              主要用于盤形測(cè)針。比碳化鎢軟，但可制作更大直徑的測(cè)頭。                                   30 – 100

鉆石                           世界上最硬的材質(zhì)，掃描時(shí)不磨損、無材料吸附。                                            1 , 3